罗茨真空泵的原理

文章来源：http://www.fengyuan99.cn 发布时间：2022-09-21 浏览次数：171

罗茨真空泵的原理：

　罗茨真空泵是双转子容积式真空泵。泵腔内有两个对称的转子形状，转子形状有两个、三个和四个叶片。两个转子相互反向旋转，由轴端齿轮驱动同步旋转。转子互不接触，通常有0.15~1.0mm的间隙，泵腔被间隙密封。

　由于罗茨真空泵的泵腔内没有摩擦，因此转子可以高速运转，一般为1500~3000r/min，无需用油润滑，可以实现无油清洁的泵送过程。泵的润滑部件限于轴承、齿轮和动密封。该泵没有往复运动部件，可以实现良好的动平衡。因此，罗茨泵运行平稳，转速高，体积小，可获得较大的泵送速度。

由于转子的连续旋转，泵送气体从吸入口进入泵腔，密封在吸入腔的泵体内，然后通过排气口排出泵外。由于吸入泵体空间的气体没有被压缩，当转子的顶部翻转排气口的边缘时，此时泵体空间与排气侧连通。由于排气侧的气体压力较高，一些高压气体回流到泵体空间，导致泵腔内的压力突然上升到排气压力。这就是所谓的外部压缩过程。转子当它继续旋转时，泵送的气体从泵中排出。转子泵的泵送过程是通过两台转子泵的连续运行来实现的。

　　罗茨泵在真空工程领域中应用时，一般与以前的泵(旋叶真空泵、滑阀真空泵、水环真空泵等)串联形成一个单元，在中等真空范围内用作机械增压泵。两级或多级罗茨泵机组可获得高真空；

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